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膜厚仪




新势力光电 供应 膜厚测量仪,用于测量10nm~250μm薄膜厚度,测量系统包括:宽带光源、CCD光谱仪、传输光纤、样品测试台、测量分析软件。该系列膜厚测量仪适合于实验室或者在线检测,被测材料包括:氧化层、氮化硅薄膜、感光胶片、以及其它类型的薄膜,也可测量钢、铝、铜、陶瓷等物质上的抗反射涂层、抗膜涂层。 

NanoCalc-VIS
(光谱范围 400-850nm,膜厚范围 50nm-20μm)
NanoCalc-XR(光谱范围 250-1050nm,膜厚范围 10nm-100μm)
NanoCalc-DUV(光谱范围 190-1100nm,膜厚范围 1nm-100μm)
NanoCalc-NIR(光谱范围 900-1700nm,膜厚范围 100nm-250μm)

a
 膜厚分辨率:0.1nm。
b 准确度:<1%(100nm-100um)。
c 测量速度:100ms~1s。
d 膜层数:三层(基于椭偏仪底层软件,可达10层)。
e 快速响应:适合在线测量。
f 基底材料:硅 /  塑料 /钢 / 铝/ 铜 / 陶瓷。
g 新型号:NanoCalc-MIK中整合摄影机。
h 材料库: 400种材料 n 和 k 值,且可添加。
i 应用场合:半导体薄膜 / 氧化物 / SiNx / 感光保护膜。

a
 膜厚仪:NanoCalc。
b 反射探头:NC-2UV/VIS400-2。
c 探头/样品支架:NC-Stage。
d 参考硅片:Step-Wafer。
e 操作软件:NanoCalc-1。
f 选配模块:RB-UV/VIS/NIR(备用灯泡)、Mapping-6''(6''电控样品台)、NanoCalc Mapping(Mapping-6''控制软件)。

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